UV光氧催化是一種廢氣處理方法，它主要用于低濃度、小風量的VOCS及惡臭廢氣處理。
UV光氧催化是指通過破壞、分解、催化氧化等把氣體污染物分解為無毒、無害、無味的氣體的方法，主要適用去除揮發性有機物、無機物、硫化氫、氨氣、硫醇類等小風量、低濃度的污染物。
工作原理
1、利用臭氧UV紫外線光束照射廢氣，UV光束裂解廢氣分子鏈結構，使有機或無機高分子惡臭化合物分子鏈咋，在高能紫外線光束照射下，降解轉變成低分子化合CO2和H2O等。
2、利用臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。
3、利用-C光束裂解廢氣中細菌的分子鍵，破壞細菌的核酸（DNA），再通過臭氧進行氧化反應，達到廢氣凈化及殺滅細菌的目的。
